可用性ステータス: | |
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数量: | |
仕様 | ||||||
シリーズ | BTF | |||||
フィルター定格/(μm) | 0.05 | 0.1 | 0.2 | 0.45 | 1 | |
完全性テスト/ (バブルポイント): N2 と 100% IPA で湿らせたメンブレンを 73 ℉ (23℃) で使用 | ≥50 psi (3.4バール) | ≥24 psi (1.7バール) | ≥16 psi (1.1バール) | ≥6 psi (0.4バール) | ≥3 psi (0.2バール) | |
寸法 長さ/(インチ) | 5 | 10 | 20 | 30 | 40 | |
寸法 直径/(mm) | 2.7インチ(68mm) | |||||
材料 | ろ材 | プリーツ加工された疎水性PTFE | ||||
フィルタのサポート | PFA | |||||
構成 | PFA | |||||
最高使用温度 | 302℉(150℃)@20△P(1.4bar) | |||||
最大差圧 | 前方: 70psi(4.8bar)@77℉(25℃);30psi(2.1bar)@260℉(127℃) リバース:50psi(3.4bar)@77℉(25℃) | |||||
に適し: 純水:冷、熱、混酸、コーティング除去剤、オゾン 超高純度薬品:酸、溶剤、光系腐食装置、アルカリ、露出剤、混合酸、コーティング除去剤 設備:相変化装置、薬品、搬送系、クリーン、エッチング、フォトリソグラフィー、液体装置 |